FALLSTUDIEN

Mikroingenieurwesen

Ein neues Produkt erforderte eine Kombination aus Glas-, Saphir- und Keramikkomponenten.

Dort, wo äußerste Maßbeständigkeit erforderlich war, wurden präzisionsgeschliffene und polierte Quarzstäbe verwendet, da Quarz einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist.

Saphirkugeln sind routinemäßig auf Submikrometer-Toleranzen genau erhältlich. Die Verwendung dieser Kugeln ermöglichte eine leichte und wirksame Art und Weise, die Komponenten mit Abstand anzuordnen, während ebenfalls elektrische Isolierung bereitgestellt wurde.

Anstelle von Kunststoff wurde aufgrund seiner Kriechfestigkeit und anderen Eigenschaften ein Aluminiumoxid-Keramik-Material gewählt. Diese Teile reichten von Scheiben mit einem Durchmesser von 2 mm x eine Dicke von 0,3 mm bis zu bearbeiteten Komponenten von 8 mm x 5 mm x 3,5 mm mit Durchmesserlöchern von 0,3 mm und einem Schlitz mit einer Breite von 0,25 mm.

 

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